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製品情報

半導体業界向け製品・用途紹介

半導体業界向け製品・用途紹介

 

半導体開発/製造・クリーンルームでの露点計・酸素濃度計・温湿度計・風速計

半導体開発/製造プロセスにおいて、パーティクルや水分・酸素などの外乱要因の除去は大きな課題です。外乱除去の確認のため、当社の露点計や温湿度計、酸素濃度計が半導体の製造、搬送、検査等様々な工程で使用されています。 また除湿エアー(ドライエアー)の除湿度や窒素ガス・アルゴンガス・ヘリウムガス・水素ガス等のガス純度測定・管理のためにも使用されています。逆に、水分量が多いことが必要なプロセスもあり、 このプロセスでは、水分量を一定に保つために、露点計による測定が行われます。下記のような製品が主に使用されています。

 

水分計測

①水分量が極微量(ppb ~ 1桁ppm)で管理されるプロセス
 ⇒最低-100℃露点まで測定可能なTK-100静電容量式露点計(酸化アルミタイプ)
②水分量が微量(ppm)で管理されるプロセス
 ⇒最低-60℃露点までのTE-660露点計(高分子タイプ)
③最重要プロセス、露点計の基準器として
 ⇒-95℃~+99℃露点まで測定できるMBW鏡面冷却式(ミラー式)露点計
④相対湿度レベルの管理が必要なプロセス・クリーンルーム
 ⇒簡易型のEE060
⑤水分が多い必要があり、一定水分量を管理する必要があるプロセス
 ⇒高温・高湿下測定を主とする結露防止環境下での対策が施されたEE33温湿度計

 

酸素濃度計測

①水素置換などによる酸素除去が必要なプロセス
 ⇒1 ppm以下を確認できる、2001LCガルバニ電池式酸素濃度計
②水素が存在しない状態で微量酸素濃度の測定が必要なプロセス
 ⇒ppbレベルまで測定可能な、Model 4100ジルコニア式酸素濃度計

 

風速計測

①クリーンルームや製造装置内で気体の流れが重要になるプロセス
 ⇒微風計測が可能な風速計

 

―製品一覧―

【露点計】

■オンライン露点計:TK-100ON

■高分子式露点計:TE-660TR

■ミラー(鏡面冷却)式露点計:MBW973

 

【風速計】

■風速トランスミッター:EE671

 

【酸素濃度計】

■ガルバニ式酸素濃度計:2001LC

 

【温湿度計】

■温湿度計:EE310

■温湿度計:EE08

■温湿度計:EE060/061

 

【腐食性ガス中水分計】

■腐食性ガス中連続水分分析計:iTMAシリーズ

 

詳細はこちら▶https://www.qk-net.co.jp/pdf/vol14_202211726.pdf

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